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台湾银泰PMI进口精密微型半导体设备滑块的安装要求及注意事项 |
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来源:聚优创新自动化 点击:46 时间:2025-6-4 |
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一、安装要求
1. 安装面精度与处理
- 精度要求:安装面精度直接影响滑块性能。精度越高,滑轨滑块的动态刚性越好,振动和加工面报废风险越低。安装前需确保安装面精度,必要时采用特殊工艺(如研磨)提高精度。
- 表面处理:安装前需清除安装基准面上的毛刺、污垢,并用干净的棉质抹布擦拭干净。若使用碳素钢材质产品,需在拆封、安装、使用全过程中妥善防锈。
2. 安装步骤
- 初步定位:将工作台轻轻放置在直线滑轨上,不完全锁紧安装螺栓。
- 基准面接触:通过止动螺丝将直线导轨滑块的基准侧与工作台侧面基准面接触,使工作台定位。
- 固定螺栓:全锁紧基准侧和从动侧的装配螺栓,完成安装。装配螺栓的拧紧顺序建议按对角线顺序进行,以使工作台均匀固定,避免应力集中。
3. 预紧与负载
- 预加负载:为提高导轨系统的稳定性,需合理选择预加负荷。预加负荷的大小取决于作用在钢球上的作用力,需避免过大(导致运动阻力增强)或过小(影响精度保持性)。
- 钢球筛选:钢球直径公差需精确控制(±20微米),以确保预加负载的准确性。
4. 润滑与防锈
- 润滑剂选择:根据使用条件选择合适的润滑剂,避免混合使用不同性质的润滑油(脂)。
- 润滑操作:安装前需先擦拭防锈油,再封入润滑油(脂)。填充润滑剂后,需来回推动滑块至少3个滑块长度的行程,重复此动作2次以上,确认导轨表面油膜均匀涂布。
5. 安装环境与工具
- 环境清洁:安装环境需保持清洁,避免灰尘等异物进入滑块,导致磨损或故障。
- 工具使用:使用合适的工具(如扭矩扳手)进行安装,避免使用布类和短纤维之类的东西,防止对滑块造成损伤。
二、注意事项
1. 安全操作
- 防坠落:滑块及导轨在倾斜后可能因本身重量而落下,需小心注意,避免人员受伤。
- 禁止敲击:勿敲击或摔落导轨,以免造成功能上的损失(如外观无破损但内部结构损坏)。
- 禁止分解:勿自行分解滑块,以免导致异物进入或对组装精度造成不利影响。
- 搬运安全:搬运重量过重的导轨时,需由2人以上或使用搬运器具进行,避免人员受伤或工件破损。
2. 使用与维护
- 温度控制:使用环境温度请勿超过80°C,瞬间温度请勿超过100°C,以免影响滑块性能。
- 拆卸与替换:将滑块从导轨上拆卸或替换滑块时,请利用假轨协助安装,非必要时请勿将滑块拆离导轨,以避免安装误差。
- 特殊环境:在经常性振动、高粉尘、高低温等特殊环境下使用时,需及时与厂家联系,采取特殊防护措施。
- 存放要求:存放时请确定涂上防锈油,封入指定的封套中,并采水平放置,避免高低温及高潮湿环境,以防止锈蚀。
3. 故障排查
- 抖动与报警:运行过程中出现抖动或报警现象时,需及时断电检查滑块导轨,清理内部异物,检查滑块与导轨的磨损情况。
- 定期维护:定期清理导轨表面,检查润滑剂是否充足,及时更换磨损严重的滑块或导轨。

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