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关于滚珠丝杠在半导体制造中的具体应用
来源:聚优创新自动化 点击:193 时间:2025-2-7
  1. 晶圆传输

    • 在半导体制造过程中,晶圆需要在不同的工艺步骤之间进行传输。滚珠丝杠用于驱动晶圆传输系统,确保晶圆在传输过程中的精确位置和速度控制。
    • 滚珠丝杠的高精度和低摩擦特性使得晶圆传输更加平稳和准确,减少了晶圆在传输过程中的损伤和误差。
  2. 晶圆对准

    • 在半导体制造中,晶圆需要对准到特定的位置以进行后续的工艺步骤。滚珠丝杠用于驱动对准系统,确保晶圆能够精确地对准到预定位置。
    • 滚珠丝杠的高刚性和稳定性使得对准过程更加可靠和准确,提高了半导体制造的生产效率和产品质量。
  3. 加工设备精确运动

    • 在半导体制造设备中,滚珠丝杠还用于驱动各种加工设备的精确运动,如刻蚀机、离子注入机等。
    • 这些设备需要高精度的运动控制以实现精确的工艺步骤。滚珠丝杠以其高精度和低摩擦特性,满足了这些设备对运动控制的要求。

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